Išsamus kontrolės sąrašas: kuriems DUV modeliams turi įtakos nauji Olandijos lustų reglamentai?

Tibco News, birželio 30 d., Nyderlandų vyriausybė išleido naujausius puslaidininkinės įrangos eksporto kontrolės reglamentus, kai kurios žiniasklaidos priemonės tai aiškino kaip fotolitografijos kontrolę prieš Kiniją, kuri vėl peraugo į visus DUV.Tiesą sakant, šios naujos eksporto kontrolės taisyklės taikomos pažangioms 45 nm ir žemesnėms lustų gamybos technologijoms, įskaitant naujausią ALD atominio nusodinimo įrangą, epitaksinio auginimo įrangą, plazmos nusodinimo įrangą ir imersinės litografijos sistemas, taip pat technologijas, naudojamą programinę įrangą. naudoti ir tobulinti tokią pažangią įrangą.

Pareiškime Tibco ASML pabrėžė, kad nauji Nyderlandų vyriausybės eksporto kontrolės reglamentai apima tik kai kuriuos naujausius DUV modelius, įskaitant TWINSCAN NXT:2000i ir vėlesnes panardinamosios litografijos sistemas.EUV litografija anksčiau buvo ribojama, o kitų sistemų siuntimo nekontroliuoja Nyderlandų vyriausybė.Remiantis oficialios ASML svetainės informacija, DUV panardinamoji litografijos sistema, įskaitant: TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di trijų litografijos mašinų, gali atlikti 38nm ~ 45nm proceso plokštelių apdorojimą.

 

Be to, sausos DUV litografijos mašinos, galinčios apdoroti plokšteles virš 45 nm, pvz., 65 nm–220 nm procesą, pvz., TWINSCAN XT:400L, XT:1460K, NXT:870 ir kt., nėra įtrauktos į Nyderlandų sankcijų sąrašą.

Olandų kontrolinis sąrašas, kaip išvertė Tibco, yra toks:

Nyderlandų užsienio prekybos ir vystomojo bendradarbiavimo ministro išleistame reglamente MinBuza.2023.15246-27 numatyti licencijavimo reikalavimai eksportuoti pažangią puslaidininkių gamybos įrangą, kuri anksčiau nepaminėta Reglamento Nr. 2021/821 I priede (susijusiame su pažangiaisiais puslaidininkiais). gamybos įranga)

2 straipsnis: Šiuo reglamentu draudžiama eksportuoti pažangiąją puslaidininkių gamybos įrangą iš Nyderlandų be ministro leidimo.

3 straipsnis:

1. Prašymą išduoti 2 straipsnyje nurodytą leidimą pateikia eksportuotojas ir pateikia jį prokurorui.

2. Bet kuriuo atveju paraiškoje turi būti:

a) eksportuotojo pavadinimas ir adresas;

b) Pažangios puslaidininkių gamybos įrangos gavėjo ir galutinio vartotojo pavadinimas ir adresas;

c) Pažangios puslaidininkių gamybos įrangos gavėjo ir galutinio vartotojo pavadinimas ir adresas.

3 d., bet kuriuo atveju prokuroras turi teisę pareikalauti, kad eksportuotojas pateiktų eksporto sutartį ir pareiškimą apie galutinį naudojimą.

4 straipsnis:

2 straipsnyje aprašytai licencijai gali būti taikomos sąlygos ir nuostatos.

Licencija, aprašyta 2 straipsnyje, gali būti išduodama su kvalifikacija.

V straipsnis:

II straipsnyje nurodytos licencijos gali būti panaikintos šiais atvejais:

a)Licencija išduota remiantis neteisinga arba neišsamia informacija;

b)Nebuvo laikomasi licencijos sąlygų, sąlygų ir apribojimų;

c)Dėl nacionalinės užsienio ir saugumo politikos priežasčių.